표면 형상 및 뒷면 형상, 평탄도를 동시에 검사!

NANOMETRO® TT 시리즈는 수직 회전, 에지 그립 타입의 웨이퍼용 평탄도 측정 장치입니다. 에지 제외의 최소는 1mm, 카세트 투 카세트에 의한 고정밀도의 자동 측정이 가능합니다. 또한 평가 항목은 SEMI의 규격에 준하고 있습니다.